VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わりました。
・高精細・高速描画 ・最大描画領域 300x300mm2
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基本情報
最小寸法0.5um、Line Space 0.8umまで描画可能。 選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um または0.8um) 高出力DPSSレーザー 最大描画面積 300x300mm2 リアルタイムオートフォーカス オートローダー 基板検出機能 裏面アライメント機能 Zerodur採用 高精度微分干渉計によるステージ制御
価格帯
1億円 ~
納期
用途／実績例
・マスク描画 ・デバイス試作
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企業情報
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社は、レーザー直接描画装置やマスク描画装置の開発と製造を行う独国ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック社の日本法人です。日本国内にてレーザー直接描画装置の販売及び技術サービスを行っています。レーザー描画装置やマスクレスアライナーなどの製品を数多くラインナップしています。レーザーリソグラフィーのことなら、是非当社にご相談ください。