マイクロ波（周波数2.45GHz）照射により、大気中で、短時間で窒化チタン膜が作製可能
窒化チタンコーティング法としては、従来からスパッタリング法や基材にチタンイオンと窒素ガスイオンを照射し、基材上で反応させる方法、プラズマＣＶＤ法などがある。本発明は、これらの方法と比較すると空気中の窒素を窒素源として使用するものであり、雰囲気調整を必要としないことから、シンプルなプロセスにより低コストで窒化チタンのコーティングを行うことが出来き、高硬度で滑り特性・耐熱性特性を容易に付加できる。対象材料は金属以外にもセラミックスでも同様効果が得られる。また、コーティングをする材料としてはチタン以外にクロム、マンガンなどの窒化物をつくることができる。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
技術移転による収益は、新たな研究資金として大学や研究者へ還元され、更なる研究成果を創出するために利用されます。この一連の循環“知的創造サイクル”を円滑に回すため、我々は技術移転を全力で進めて参ります。取り扱っているシーズは、特許、ノウハウ、データベース、プログラム等です。 下記の大学と技術移転基本契約等を締結し、連携体制を構築しております。（2024年4月1日現在） ・東北大学・弘前大学・岩手大学・秋田大学・福島大学・山形大学・東北学院大学・岩手医科大学・福島県立医科大学・会津大学・宮城大学・北海道大学