MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成！カスタマイズ対応可能
『OWF-10L20P』は、接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適した クリーンなオゾン水を生成するメタルフリー小型オゾン水生成装置です。 小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られた オゾン水生成装置の10L/min 20ppmタイプ。 タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御します。 また、先止めでの運転も可能です。 【特長】 ■金属汚染の無いクリーンオゾン水 ■タッチパネルで簡単操作 ■冷却水不要 ■機種選定・系統を提案 ■組込にあたってのご協力も約束 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■最高オゾン水濃度20ppm ■濃度自動制御 ■最大オゾン水吐出量10L/min ■タッチパネル搭載 ■表面酸化 ■有機物洗浄 ■レジスト剥離 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体洗浄 ■液晶製造工程 ■太陽電池洗浄 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
21世紀の科学技術を担う私たちにとって循環型産業構造の構築は最重要課題です。 当社はこの課題に向けての新技術開発の支援をモットーといたします。 特にそのためのキーテクノロジーと目されるオゾン利用技術の技術的基盤を高めるため、低価格且つ高性能のオゾン発生装置をオゾン利用の現場へ供給致します。また、オゾン利用技術情報を蓄積し、情報面における普及、開発支援もいたします。