バルブの開閉をセンシングします！
センサによりバルブの外部へのリークを検知。 またバルブの開閉や温度を正確に検知することが可能になりました。 バルブに不具合が起こる前に 劣化部品の交換時期を知ることが出来るため、 装置の長期信頼性を向上させることが出来ます。 ※詳細はお問い合わせください。
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基本情報
■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、 正確な開閉検知が可能になりました。 ・耐久性：400万回（実験値） ・使用温度：-10～＋80℃ ※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品！ ■高耐久IoTバルブ 高耐久バルブにセンサを搭載することで、 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性：1億回（実験値） ・使用温度：-10～＋80℃ ■高温・高耐久IoTバルブ 高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性：3,000万回（実験値） ・使用温度：-10～＋150℃
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企業情報
特殊バルブ機器類だけでなく、 超精密ながれ(流体)制御システムにおける トップランナーへと成長を遂げたフジキン。 極限の技術が要求される陸・海・空の多彩なフィールドで、 私たちフジキンの最先端テクノロジーが活かされています。 あらゆる最先端産業の分野を見つめる私たちは、今後、 新素材を含め高分子化学やバイオテクノロジー、新エネルギー、 エコロジー、マイクロマシン、ナノ・ピコテクノロジー、 メディカルエンジニアリング、福祉機器等々の最先端技術及び ICT(情報通信技術)・IoT(モノのインターネット) を駆使した事業の展開をはかってまいります。 【事業分野】 ・半導体製造装置用超精密バルブ機器 ・宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器 ・石油化学プラント用特殊バルブ機器 ・バイオ(医薬・食品)用無菌プロセスバルブ機器 ・新エネルギー・二次電池用バルブ機器 ・原子力発電所用計装バルブ機器 ・海洋開発用ながれ(流体)制御システム機器 ・ライフサイエンス─医療・介護・ヘルスケア／チョウザメ事業─