電子ビーム集束時の球面収差を光で補正！磁場印可不要で簡便な光による電子レンズ
電子顕微鏡の発明以来、電子ラウンドレンズ（円筒対称なレンズ作用）には電極板による電界型のレンズと、磁束コイルによる磁界型レンズが用いられている。電界/磁界型の電子ラウンドレンズは、原理的に負の球面収差を発生することが出来ないという制約がある。また、従来の非円筒対称な多極子レンズによる球面収差補正装置は、高価（1億円以上）であり、非常に複雑な機構であることがネックである。本発明は上記電子線集光装置の高精度化、簡素化、低価格化のための課題を解決し、円筒対称偏光ビームによる正の球面収差を有する凹レンズや、負の球面収差を有する凸レンズを含む電子ラウンドレンズの構成に関する。
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