熱電能・電気伝導率・熱伝導率を1つの試料、1つのセットアップで精度高く迅速に測定可能
熱電材料の無次元性能指数ZTの算出には、熱電能・電気伝導率・熱伝導率の3種の物性値を個別に測定する必要があるため、現状は3種類の試料調整や温度依存性の測定に長い時間を要している。 また、ゼーベック効果を利用した従来の縦型熱電変換だけではなく、異常ネルンスト効果を利用した横型熱電変換が注目されている。しかし、横型熱電材料の薄膜試料のZT測定においては、3種の物性値ごとに異なる試料を用意する必要があり、試料の個体差により界面状態が異なるため正確な測定が難しい課題があった。 本発明は横型熱電材料の薄膜試料における3種の物性値の一括測定を達成する測定法に関する。同一試料・一つのセットアップで測定できるため、薄膜試料の個体差の影響を受けず、測定の簡易・迅速化を達成する。
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