照射サイズ400×400mm卓上型洗浄改質装置
引出しタイプの洗浄改質装置です。 有効照射サイズ：約400×400mm ランプの入/切による短寿命を緩和する常時通電を採用 安全を考慮したインターロック仕様なっております。
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基本情報
【仕様】 ■寸法：750×920×1175mm（突起物を除く） ■重量：約210kg ■使用ランプ：EUV200NS-**×6本 ■照射エリア：約442×450mm ■トレイサイズ：620×550×70mm ■入力電源：単相200V 15A ■ダクトホース：φ75mm 3ｍ×１本付属
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
■親水化による各種表面の濡れ性改善、接着性、密着性の向上 ■有機物分解による高度なドライ洗浄 ■光学系ガラス、ウェハ、基板等の表面改質洗浄 ■ポリイミド等の難接着性プラスチックの接着性の改善
カタログ（2）
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企業情報
セン特殊光源は紫外線を応用した表面処理、改質、硬化、殺菌、脱臭専門メーカーです。