幅広い用途を網羅した超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）バイポーラ技術によるプラズマ源
独自の技術である、超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマ源により、あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。 また複数のプラズマ源を独立して、同時に動作することにより、柔軟なイオンおよび電子ビームソリューションの設計と製造が出来、幅広いアプリケーションに対応致します。 ■特徴 ・手のひらに収まる超小型低消費電力 ・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を選択可能 ・ビーム形状やビームサイズを変換可能 ・フランジの有無で任意の場所に設置可能 ・メンテナンス性がよい ■モデル ・TES-GO ・TES-40 ・TES-63 ・TES-100 ・NanoVac
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基本情報
【スペック】 ※TES-40モデルを一例として一部掲載しております。 ・使用可能ガス:H₂, He, N₂, O₂, 貴ガス, 分子ガス He ・マイクロ波電力:0.5～5 W (2.45GHz) ・最大エネルギー:5 kV ・フランジタイプ:CF40
価格帯
納期
用途／実績例
・中和 ・電子化学 ・高出力電子線(ビーム) ・エッチング ・スパッタリング ・表面活性化 ・ビームライン ・アクセラレーター ・質量分析 ・イオンビーム加工 ・表面改質
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企業情報
ケイエルブイは、世界各国より最先端の光学部品を発掘し、 医療・環境・分析分野をはじめとする様々な光学技術の発展をサポートしてきました。 「SOLUTION FOR OPTICAL SYSTEM DEMANDS」をテーマに掲げ、 光ソリューションビジネスの積極的な構築・展開を行っています。 高度化・多様化するお客様のニーズにどこよりも迅速かつ的確にお応えし、事業と社会の両面で貢献できる企業へ。 「光エネルギー活用を提案する専門商社」として新しい光の時代を切り拓く、当社の独自性・可能性にあふれる光学ソリューションにご期待ください。