300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。 300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。 より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。 120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
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基本情報
■動作範囲：120μｍ ■耐荷重：8kg ■カスタム対応可（真空対応、超高真空対応、高耐荷重、長動作など）
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企業情報
プライアー・サイエンティフィックは設立以来、100年以上にわたり、高精度な光学機器や精密な動作を実現する機器の開発・製造に携わってきました。主に光学システム分野において、高精度な自動化機器、その関連製品を開発する先端企業であり続けることを目指して、日々取り組んでおります。 製造機能を持つ英国本社と米国支社の各拠点は、それぞれがISO9001:2015を取得し、徹底した品質管理のもとで生産を行っております。ドイツ、日本、中国の販売拠点を含めたプライアーグループは、これからも高精度な製品を世界各地のお客様へお届けできるよう、丁寧に事業活動を続けていく所存です。