超小型複動エアベアリングシリンダ

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最終更新日：2026年02月11日

摩擦抵抗ゼロを実現。エアベアリングを採用した摩耗も発塵もないシリンダ。複動式のエアベアリングシリンダ

本製品は、革新的なエアシリンダ技術を採用した複動式のエアベアリングシリンダです。その核心は、ロッドガイド部に搭載されたエアベアリングにあります。この先進的な設計により、ロッドとガイド間が非接触となり、摺動抵抗をゼロに抑えています。この特性を活かし、エアベアリングシリンダは微荷重・低速での精密駆動を実現します。ソフトタッチな動作と高精度な荷重制御が可能なため、精密研磨装置など、厳密な制御を要する用途に最適です。さらに、クリーンルーム対応も可能であり、幅広い産業分野での活用が期待できます。主な特長として、多孔質金属焼結体エアベアリングの採用により、従来品を上回る高い横剛性を実現しています。また、お客様のニーズに応じた自由設計による特殊対応も可能で、小型化や薄型化、セラミック焼結体の使用など、様々なカスタマイズに対応いたします。精密機器製造、半導体産業、医療機器開発など、高度な制御と清浄性が求められる分野で、エアベアリングシリンダは新たな可能性を切り開きます。詳細仕様やカスタム対応については、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報

シリンダ径Φ6mm ストローク10mm 有効受圧面積：押側28.3㎟　引側15.7㎟外形寸法：14mm×14mm×51mm

価格情報

数量によって価格が変動しますのでお気軽にお問い合わせください。

納期

詳細はお問い合わせください

※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。)

用途／実績例

精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 加工ヘッド部・センサヘッド部の自重キャンセル（バランサー）　⇒液晶貼り合わせ、三次元測定機 ● 精密押圧コントロール　⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械　⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 ● テンションコントロール　⇒高機能ファイバー加工機向け弊社レギュレーター【RS】【RS.M/S】との組み合わせによりより高度な制御が可能になります。

詳細情報

シリンダ推力ヒステリシスについて藤倉ゴム製BFシリンダ（φ20）と、エアベアリングシリンダ（φ20）のシリンダ推力ヒステリシスを示した図です。各シリンダの推力ポートにそれぞれ200[kPa]のエアーを印加した状態で、ロッドをストローク（往復）させた際のシリンダ推力を示しています。ロッドストロークは最大伸張時からの収縮量を示しています。ストロークを往復させた際の推力差が摺動抵抗を示しています。