半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定!
半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。
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基本情報
半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 弊社で独自に入手したSiウェハの測定をご紹介します。 測定したのは下記の5種類。 それぞれp型/n型、ドープ量などが違うものです。 1.ケイ素<0.02Ωcm/P,Low,100 2.ケイ素>1000Ωcm/P,High,111 3.ケイ素<0.02Ωcm/N,Low,100 4.ケイ素<0.02Ωcm/N,Low,111 5.ケイ素>1000Ωcm/N,High,111 当社のサーモウエーブアナライザーTAで測定しますと、 熱伝導率(熱拡散率) 1.約120W/mK(74mm2/s) 2.約140W/mK(87mm2/s) 3.約120W/mK(76mm2/s) 4.約120W/mK(75mm2/s) 5.約140W/mK(87mm2/s) *熱伝導率は熱拡散率の測定値と比熱と密度の文献値から計算。 熱伝導率的には、p型/n型でそう大きな差はないようです。 High、lowでは差が出るようですが。 詳細はお問合せください。
価格情報
***** 数量・測定の難易度によって価格が変動しますので、詳細はお問合せください。
納期
※数量によって納期が変動しますので、詳細はお問合せください。
用途/実績例
半導体材料開発
カタログ(3)
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企業情報
長年培った組立技術を生かし、精密部品組立、熱物性測定装置の開発と受託測定、クリーンルームを備えてた医療・歯科系プラスチック製品開発と、事業分野を拡大して参りました。 「オリジナル商品」を独自のモノづくり視点から深化・融合させ、ノウハウと技術を結集しています。ベテルだからこそ持つ「スピーディーな決断と実行」を武器に、「Made by BETHEL」の高品質商品を提供しています。 ベテル製品を使っていただくお客様が、ベテルの製品、製造、サービスに満足し、この会社に任せて良かったと感じていただくこと。 また、お客様の満足によって、働く従業員一人一人が幸せになることがベテルの願いです。