低応力域も測定可能な、薄型・高集積センサ
せん断応力および接触応力の測定は、ロボット、医療、デジタル、直接肌に触れる商品の開発等様々な分野において重要な情報をもたらす。 一般的にみられる３軸応力センサは厚く固い形状のため、例えば生体内のせん断応力及び接触応力を直接測定することは困難であった。 上記課題を解決するため、発明者はこれまで以下のセンサを開発した。 (1)特許第5688792号※関連特許（2/3） せん断応力と接触応力を同時測定可能な薄型センサ (2)特許第6753615※関連特許（3/3） センサの高集積化技術 (3)特許第7466214号 (1)の原理を基とした、低応力域でも測定可能な積層型センサ本発明は上記技術を組み合わせた、薄型・高集積センサである。 多様な用途への実証実験も行われ、実用化が期待される技術である。
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