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【Q&A】超軽量DP付修正キャリアのギモンを解決

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最終更新日:2026年02月12日

八千代マイクロサイエンス 株式会社
八千代マイクロサイエンス 株式会社
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研磨PAD修正の必須アイテム「超軽量DP付修正キャリア」のギモンにお答えします

Q:修正キャリアの原材料は何ですか? A:キャリアの材質は樹脂素材です。一般的な修正キャリアは鋳鉄キャリアを使用しているため、同仕様で超軽量化ができません。 Q:修正キャリアを使用するにあたって機械メーカーは指定されてますか? A:メーカーの指定はございません。お客様の設備に合わせて作成できます。 Q:どのような情報(図面等)があれば制作できますか? A:キャリアギア情報及び定盤サイズについて確認しております。  必要情報については別途資料のご案内をいたします。 Q:発注から納品までどの位の期間が必要ですか? A:ご注文から約2ヶ月が目安です。 Q:具体的な改善データはありますか? A:ドレス時間2時間が10~30分に短縮された。  ワークのフチダレの改善。  ドレス後の研磨レートの向上などがございます。 Q:価格はいくらでしょうか?価格表はありますか? A:サイズや仕様によって変わりますので、まずはお問い合わせください。 Q:お試し使用はできますか? A:弊社所有の既存パターンがご利用可能であれば最大1ヶ月間貸出が可能です。

    ウエハ加工/研磨装置
修正キャリア_550x550px

【Q&A】超軽量DP付修正キャリアのギモンを解決

修正キャリア_550x550px (2) (1).png
修正キャリア_550x550px (2) (1).png
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基本情報

【仕様】 1.機械サイズ 3B~28B(32B等大型機種も要相談) 2.粒度 #140~#1500 目的に応じてご提案いたします。 一部無償テスト用貸出サンプルあり 3.重さ 鋳鉄キャリアの10~20%程度の重さ(作業性抜群です) 9B:0.7kg/枚程度 28B:3.2kg/枚程度 ※サイズが大きくなれば軽量化によるメリットは更に大きくなります。)

価格帯

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納期

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用途/実績例

【使用例】 ・貼替え直後、作業開始前、終了後などに使用 ・ポリッシュ定盤に均等に配置(通常4枚/set)し水を流しながら使用 ※2時間かかっていたドレス作業が10~30分程度に改善した事例が多数ございます。 ・終了後は修正キャリアを洗浄し、保管(軽量のため壁掛け保管も可能) DP付修正キャリアのメンテナンス方法(再目立て)などの方法もお伝えいたします。 ※貼替え前の研磨PADなどを利用した再目立てが可能(有償で目立て作業も可) ※導入からメンテナンスフリーで10年以上ご利用のお客様もいらっしゃいます。

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両面研磨PAD用 YMI修正キャリア

両面研磨PAD用 YMI修正キャリア

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八千代マイクロサイエンスは1937年(昭和12年)の創業以来研削・研磨材の 専門商社であると同時に、研究開発部門による研削・研磨関連の製品開発 にも取り組み続けております。 技術情報サイト「研削・研磨.COM」「凝集剤.COM」 の 運営も行っております。ぜひ一度ご覧ください。

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