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【半導体産業/電子産業向け】TOC計 Sievers M9e

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Sievers M9e

最終更新日:2025年05月26日

セントラル科学株式会社
セントラル科学株式会社
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半導体産業や電子産業の超純水中の極低濃度域のTOCを連続監視!幅広い測定範囲を迅速に測定!

Sievers M9eは、独自のガス透過膜式導電率測定方式と幅広い測定範囲(0.03 ppb〜50 ppm)により、さまざまなアプリケーションに対応できます。オプションのターボモード(分析時間4秒)は回収水監視に役立ちます。 Sievers M9e の特長: ・機差のマッチング ・超低濃度域の安定性 ・自動操作(校正 / 検証 / データ分析など) ・12か月の校正安定性 ・用途に応じて選べる3モデル(ラボ型/ポータブル型/オンライン型) ・サンプル導電率測定機能(オプション)により、TOCと導電率を同時に測定できます ・オートサンプラー(オプション)により、最大63本(40mL)のサンプルを自動で分析できます。

    分析機器・装置
M9.png

【半導体産業/電子産業向け】TOC計 Sievers M9e

M9.png
M9.png オートサンプラーのみ3.JPG
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基本情報

・共通仕様(通常モード&ターボモード) 測定原理:湿式紫外線酸化+ガス透過膜式導電率測定方式 サンプル給水流量:50 mL/分以上 サンプル温度:5~95℃ サンプル水圧:100 psigまで 妨害物質:有機物以外の共存イオンの影響を受けない 校正安定性:通常12ヵ月間安定 表示桁数:3桁 ・通常モード 測定範囲:0.03 ppb ~ 50 ppm TOC 精度:± 2% または ±0.5 ppb どちらか大きい方 再現性:RSD 1%以下 測定時間:2分 分析計内流量:0.5 mL/分 ・ターボモード 測定範囲:0.2 ppb ~ 10 ppm TOC 精度:± 3%以内 再現性:RSD 2%以下 測定時間:4秒 分析計内流量:1.1 mL/分

価格帯

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用途/実績例

半導体産業向け超純水製造装置:原水/RO水/回収水 設備の洗浄評価 無機酸の純度管理 めっき液の汚染評価 水処理膜の性能評価 冷却水/ボイラー水の漏れ検知

詳細情報

  • 画像4.jpg

    ・Sievers独自のガス透過膜式導電率測定方式 導電率測定方式のTOC計では、有機物の酸化分解後に生成する二酸化炭素(炭酸根イオン)が示す導電率を測定することで、炭素濃度を算出します。Sievers M500eではテフロンの薄膜により二酸化炭素を試料水から分析計内の純水ラインに分離する「ガス透過膜モジュール」と称する二酸化炭素の分離測定メカニズムによって、他のイオンの影響を排除した正確なTOC測定を可能にします。

ラインアップ(3)

型番 概要
SPRD77130-01 TOC計 M9e ラボ型
SPRD77230-01 TOC計 M9e ポータブル型
SPRD77330-01 TOC計 M9e オンライン型

カタログ(8)

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弊社は、1967年(昭和42年)の創立以来、誰でも迅速、簡単、高精度に測定できる水質測定器の開発、普及に努めてまいりました。 地球の環境保全とともに、限られた資源である水の有効活用が求められている現在、弊社は水質測定器、技術、サービスを駆使してあらゆる水環境に対応する、トータルソリューションプロバイダーを目指しています。 また、最新の技術と長年のノウハウを生かし、使い安く、信頼できる水質測定器をより安く、より速く、より広くお届けすることをモットーとして努力してゆく所存でございます。

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