一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。 主にCMP後の洗浄で使用します。 装置内構成例：ローダー ⇒ 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒ 2.リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒薬液シャワー → 両面ブラシ洗浄 → 純水リンス 2.リンス乾燥チャンバ― ⇒2流体(N2+純粋)洗浄 → MSシャワー(オプション) → N2ブロー乾燥
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多岐にわたる分野で、創造という挑戦を続けるお客様と、歩みを重ねて− 施設機器事業、機械装置事業を両輪とするダルトングループの力は、創造活動に情熱を抱く お客様のパートナーとしての役割を担うことで、はじめて発揮されます。 際立つ個性と知を携えたグループ各社と共に、歴史と信頼を築いてきたサプライヤーと共に、 そして、価値創造の主人公であるお客様と共に。 −創造の、共創へ。− 私たちダルトングループは、おのおのの知と技術を結集し、 お客様のあらゆる創造活動と融合することで、革新的な価値を共に創造し、 豊かな社会と輝ける未来に貢献します。
