ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置
基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。 サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。 最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。 ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。
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･ブランケット誘電体または金属欠陥検査 ･マイクロ流体におけるガラスのコーティング厚さの変化 ･単層有機残留物 ･ウエハチャック汚染 ･AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力、エアギャップ、接着剤のオーバーフロー ･透明なボイド 空隙（ フィルム、ウエハ、接着ウエハ） ･平面な光学部品の異物混入 ･ヘイズ検出と計測 ･ウエハの受入品質検査 ･フォトレジストコーティングの欠陥 ･フォトマスクブランク欠陥と表面汚染 ･ポストグラインド/TAIKOウエハ（またはフィルムフレーム）の欠陥 ･ゲルパック、ワッフルパック、JDECサンプルトレイのサンプル検査 ･未パターンガラスパネルの入荷品質検査 ･ブランケット誘電体またはメタリック塗装パネル ･ガラスの膜厚ばらつき ･単層有機残留物 ･フォトレジストコーティングの欠陥 ･パネル全体の応力と誘起点応力 ･TGV形成検査 ･ガラスパネルウエハエッジチップ ･ヘイズ検出と計測 ･高反り/反りウエハのハンドリングと測定
企業情報
日本レーザーは1968年の創業より、レーザー専門商社の草分けとして、お客様に支えられながら、レーザー技術の進歩と共に歩んで来た日本で最古・最大のレーザー及び光関連製品の専門企業です。 従業員数の1割強をエンジニアに割いており、技術色の強みを持つ商社です。 米・英・独・仏・スイス・デンマーク・リトアニアなど世界各国の優れたレーザー製品、光関連製品を提供いたしております。各国のトップクラスのメーカーと代理店契約を締結しており、現在の海外取引先数は約50社になります。また当社は、世界より集めたレーザー関連機器を独自に組み上げ、応用システムとして販売提供が可能です。商社でありながらファブレスメーカー的なサービスも提供可能です。お客様の要求に感謝の気持ちを持って、常に柔軟でアグレッシブなソリューションを提供してまいります。
