試料温度制御と空気温度制御による温度サイクル試験が可能
・試料温度基準で最大15℃/minの温度勾配制御が可能 ・JESD22-A104E、IEC60749-25の規格試験に対応 ・試料温度ランプレート15℃/分以下（-40～125℃）の規格試験を、正確に行うことが可能
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