反射分光膜厚計『OPTM』を用いた絶縁膜の膜厚測定
半導体トランジスタは電流の通電状態を制御することで信号を伝達していますが、電流が漏れたり別のトランジスタの電流が勝手な通路を通り回り込むことを防止するために、トランジスタ間を絶縁するための絶縁膜が埋め込まれています。 絶縁膜にはSiO2（二酸化シリコン）やSiN（窒化シリコン）が用いられます。 SiO2は絶縁膜として、SiNはSiO2より誘電率の高い絶縁膜として、または不必要なSiO2をCMPで除去する際のストッパーとして使用され、その後にSiNも除去されます。 このように絶縁膜としての性能、正確なプロセス管理のため、これらの膜厚を測定する必要があります。
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基本情報
●膜厚測定範囲： 1nm～35μm（機種選択による） ●測定時間 ： 1秒／1ポイント ●測定径 ： φ5μm、φ10μm、φ20μm、φ40μm
価格帯
納期
用途／実績例
●機能性材料 ： 光学フィルム（AR膜、ベースフィルム、ITO、WET膜なそ） 機能性材料（SAW／BAWフィルター、レンズ、DLC膜、ポリイミドなど） 医療用材料（カテーテル、バルーン、鉗子など） ●半導体 ： Si半導体（SiO２/Si、レジスト/Si、SiO2/a-Si/SiO2/Si、SOI、Siなど） 化合物半導体（a-Si/GaAs、Al2O3/GaAs、a-Si/Al2O3/GaAs。SiC、GaN、Ga2O3など）
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企業情報
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。
