1台で1～4軸、卓越した拡張性と省スペース性能を実現
A-81x PIglide モーションコントローラは、エアベアリングステージ用に設計された多軸対応の超精密モーション制御ソリューションです。 最大4軸までの制御を1台で可能とし、真空・非磁性環境下での運用にも対応。 ナノメートルスケールでの位置決めを可能とする高精度制御と、柔軟な構成が特長です。 EtherCATやアナログ信号による高速インターフェースに対応し、半導体リソグラフィ、顕微鏡ステージ、計測装置などの高度な産業用途にも適応。 安全機能や温度センサ入力も搭載し、信頼性の高い長時間運用を実現します。
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基本情報
・1軸、2軸、4軸タイプ ・クローズドループサーボ制御、アンプモジュール、電源を統合 ・ボイスコイルドライブ、DCモーター、ブラシレス3相モーター用 ・静音PWMドライブ ・エンコーダ：インクリメンタル、アブソリュート ・出力電流：1軸あたり最大Cont. 10A/Peak 20A ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・用途・実績例 ・半導体製造装置におけるウエハー搬送・整列工程 ・X線ナノイメージングシステムにおける試料位置決め ・顕微鏡ステージ制御（原子間力顕微鏡、共焦点顕微鏡） ・計測機器における高精度スキャン制御 ・クリーンルームや真空チャンバー内での多軸位置決め ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
