Ta板からの脱離ガス成分や水素の脱離温度などを確認可能！
半導体製造等において広く用いられる「水素アニール評価」の一環として、 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)にて測定した事例をご紹介します。 真空中で昇温しながら質量分析を行うことで、Ta板からの脱離ガス成分や 水素の脱離温度などを確認することができました。 また、脱離ガスを質量分析することで、ガス種の同定や目的成分ごとの 脱離挙動を知ることができます。 【事例概要】 ■試料からの昇温脱離ガスプロファィル ■質量分析(m/z＝1～199)による脱離ガス種の同定、脱離ガス量の比較 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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