ちょうど良い表面抵抗で電子デバイスの破損を防止します
ESD対策用途で推奨される中抵抗（１E＋6Ω≦ Rs（表面抵抗） ＜１E＋10Ω）を実現したフッ素樹脂コーティングです。 優れた静電気拡散性で放電・帯電による電子デバイスの破損を防止します。 ＜主たる用途例＞ ・半導体製造装置向けハンドアーム類 ・真空チャック ・リフトピン ・ウェハ搬送設備 など ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様と特徴】 ◦フッ素樹脂焼付コーティング ◦表面抵抗値１E＋6Ω≦ Rs ＜１E＋10Ω ◦膜厚：50μｍ程度 ◦色調：黒系 ◦不純物の含有が少なく、高純度性に優れます。 ◦高い平面度・平行度を求める用途向けに二次加工仕上げタイプも開発中。 二次加工後も中抵抗を維持します。
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用途／実績例
＜主たる用途例＞ ・半導体製造装置向けハンドアーム類 ・真空チャック ・リフトピン ・ウェハ搬送設備 など
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企業情報
弊社は、業界（フッ素樹脂関係）でいち早くＩＳＯ９００１及び１４００１を取得した国際規格に合致した企業です。また、技術先行企業で常に新製品を開発しております。