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ウェハ受入れテストシステム WAT6600 

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並列パラメトリックテストシステム

最終更新日:2025年11月18日

Semi Next株式会社 本社、三重事業所
Semi Next株式会社 本社、三重事業所
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1pAの精度で、48ピン同時測定。並列測定でスループット最大化

WAT6600は、DC測定・キャパシタンス測定に加え、リングオシレータなどの高周波特性評価やフラッシュメモリテストにも対応する、高効率な並列パラメトリックテストシステムです。 複数チャネルを同時に測定可能なため、ウェーハ工程でのスループットを大幅に向上。精度・速度の両立により、量産ラインおよび評価工程に最適です。 主な特長: 正確なDC/CV測定 高周波アプリケーション対応(リングオシレータ測定など) フラッシュメモリの機能評価も可能 高い並列性によりテスト時間を短縮

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WAT6600.png

ウェハ受入れテストシステム WAT6600 

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基本情報

▶自社開発ハードウェア 測定モジュールから制御部まで一貫開発。安定供給・短納期を実現。 ▶高出力・高電圧対応 各ピンに対し最大200V / 1Aの電源出力(SMU)、±40Vのパルス信号も可能(PGU)。 ▶48ピン対応 最大48ピン・フルケルビン測定に対応。多デバイス同時測定が可能。 ▶高精度測定 1pAレベルの超微小電流測定、システム漏れ電流 <500fA。 ▶SECS/GEM準拠 EAPやFAシステムへの容易な統合が可能。自動化対応も万全。 ▶メンテナンス支援機能 内蔵ソフトウェア(CAL/DIAG/PV)でトラブル診断・校正が迅速。性能を安定維持。 ▶主流プローバ対応 TEL(P8XL/P12/Precio XL)、TSK(UF200/UF3000)など主要メーカーに対応。 ▶48ピンプローブカード互換 φ230mm対応の48ピンカードを使用可能。既存設備からの移行コストを最小化。

価格情報

コスパ抜群!お気軽にお問い合わせください。

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用途/実績例

WAT6600は、高効率な並列パラメトリックテストシステムであり、正確なDC測定、キャパシタンス測定、およびリングオシレータ測定などの高周波アプリケーション、フラッシュメモリテストなどを迅速に実行できます。 すでに業界トップクラスの企業様にて評価・導入が進行中であり、積極的にご採用いただいております。

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ウエハ・アクセプタンス・テスト(WAT) 検査装置シリーズ

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Semi

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先端テスト&計測機器のグローバルサプライヤーです。 高速通信、光チップ、電子計測、パワー半導体といった最先端分野に向けて、研究開発から量産工程まで対応可能な高性能・高集積な測定ソリューションを提供しています。 創業以来、「専心・匠心(Staying Dedicated and Artisanal)」を企業価値の中核に据え、測定原理への深い洞察とクラフトマン精神を融合させた製品開発を追求してきました。 “世界の技術革新を支える最良のテストソリューション企業”を目指し、今後もグローバルな産業課題に応える高性能・高効率・高信頼のソリューションを提供してまいります。

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