処理チャンバー数は1～4！ウェハ材質はSiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板
当社による「精密洗浄装置」の制作事例をご紹介いたします。 半導体のウエーハやハードディスク等精密部品の洗浄に使用される 枚様式で、パーティクルや薬液、金属などの汚染を洗浄。 ウエーハを1枚ずつ洗浄するため、多品種少量生産や高機能の洗浄に 適しています。 【製品仕様】 ■半導体ウェハ(SiC、GaN、シリコン、サファイア等)、MEMS ■ウェハ材質：SiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板 ■ウェハサイズ：2～12インチ ■処理チャンバー数：1～4 ■薬液：最大2種類(オプション：3種類) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
シナノ精機は、「顧客満足度と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する」という経営理念のもとに事業を展開して参りました。 グループの一人ひとりが経営理念に基づき、高い技術と向上心、プロ意識を持って、お客様の満足と、社会の発展に貢献するために力を結集しています。 そして、「最先端の技術は、現場から生まれる」をモットーに、現場主義を行動指針とし、日々努力を重ねております。
