低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績
当社は、半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 機体配線を実施しました。 開発機及び量産機ともに機内配線及び機外配線を行いました。 また実体配線図等作成のための資料づくりや独自に検査表などの 作成や検査治具の作成を行い、量産化するためにサポート。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【導入先情報】 ■大手半導体メーカー ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
シナノ精機は、「顧客満足度と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する」という経営理念のもとに事業を展開して参りました。 グループの一人ひとりが経営理念に基づき、高い技術と向上心、プロ意識を持って、お客様の満足と、社会の発展に貢献するために力を結集しています。 そして、「最先端の技術は、現場から生まれる」をモットーに、現場主義を行動指針とし、日々努力を重ねております。
