金属ホットゾーンで、断熱材・炉材由来のアウトガスや発塵を抑制
「メタル炉」は、炉内の構成材をタングステンやモリブデンなどの金属で構成した、高純度熱処理向けの小型炉です。 一般的な電気炉では、断熱材、炉材、ヒーター周辺部材からのアウトガス・発塵・揮発成分により、処理品の表面状態や不純物濃度に影響する場合があります。 本設備は、炉内をオールメタル構成とすることで、断熱材由来の汚染や炉材コンタミを抑え、真空または不活性ガス雰囲気下でクリーンな高温処理を行うことができます。 特に、半導体材料、高純度粉末、酸化物・窒化物材料、薄膜・電極材など、炉材由来の微量汚染を嫌う材料の前処理・アニール・表面処理に適しています。 【特長】 ■ タングステン・モリブデン系の金属ホットゾーン ■ 断熱材由来のアウトガス・発塵を低減 ■ 真空またはN2/Arなど不活性ガス雰囲気に対応 ■ 高純度粉末・半導体材料の前処理に適用可能 ■ 小型炉のため、研究開発・条件検討に導入しやすい ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
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基本情報
【原理・構造】 ■ 金属ホットゾーン構成 ・タングステン、モリブデン系ヒーターを通電加熱 ・金属の高い熱伝導性により、炉内を安定加熱 ■ 断熱材由来コンタミを低減 ・一般的なセラミック断熱材を炉内に使用しない構成 ・断熱材由来のアウトガス、発塵、揮発成分の影響を抑制 ■ クリーン雰囲気制御 ・真空またはN2/Arなどの不活性ガス雰囲気に対応 ・炉材由来のガス放出を抑え、処理品への汚染リスクを低減 【このような材料に】 ■ 高純度酸化物・窒化物粉末 ■ 半導体材料、SiC基板、機能性セラミックス ■ 薄膜・電極材・スパッタターゲット材 ■ 炉材由来汚染を避けたい研究開発サンプル ※仕様は用途・温度・雰囲気条件に応じてご提案します。
価格情報
※装置仕様によって価格が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
納期
※※装置仕様によって納期が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
用途／実績例
【適用分野】 ■ 半導体材料、SiC基板、酸化物単結晶などの前処理 ■ 高純度粉末、酸化物・窒化物材料のアニール ■ スパッタターゲット材、薄膜・電極材の熱処理 ■ 高精度な温度プロファイルが必要な材料評価 ■ 表面分析前の試料加熱・脱ガス処理 ■ 炉材由来コンタミを避けたい研究開発用途 【このような課題に】 ■ 一般炉では断熱材由来のアウトガスが気になる ■ 炉材の発塵・揮発成分による微量汚染を避けたい ■ 処理後の表面状態・色調・物性ばらつきを抑えたい ■ 真空または不活性ガス中でクリーンに高温処理したい ■ 高純度材料を小スケールで条件検討したい 材料、処理温度、雰囲気条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
