高密度プラズマ発生で活躍するソリッドステートマイクロ波電源
トルンプのマイクロ波電源は、ソリッドステート方式による高精度な出力制御により安定した高密度プラズマ発生を実現します。 定期的な消耗部品交換が必要な従来のマグネトロン方式に比べて長寿命のため運転コストが低く、サイズもコンパクトです。
![マイクロ波電源_01_MW_1[1].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/2094562/IPROS17193055616005103983.png?w=280&h=280)
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基本情報
【特長】 ・ソリッドステート方式 ・高いプラズマ密度の発生 ・高い周波数精度 ・高い出力安定性 ・高い出力効率 ・ナノ秒レベルのパルス出力性能 ・自動周波数チューニング機能 ・複数ユニット間の位相同期機能 ・モジュール式による出力拡張性 ・反射波による損傷リスクの低い設計 ・コンパクトな設計 ・効率的な冷却設計（完全水冷を主に採用） 【出力仕様】 (1)TruPlasma MW シリーズ 1000 ・定格出力 300W、1kW ・周波数 2450MHz ±50MHz (2)TruPlasma MW シリーズ 3000 ・定格出力 2kW、6kW ・周波数 2450MHz ±50MHz
価格帯
納期
用途／実績例
【主要な用途】 ・エッチング ・プラズマALD ・プラズマ表面処理 ・電子サイクロトロン共鳴（ECR） 【主要な業界】 ・半導体・電子部品
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企業情報
トルンプは1923年にドイツで誕生した、「板金加工機」 「レーザ技術」「パワーエレクトロニクス」分野における グローバル・リーディングカンパニーです。 世界で唯一、総合板金加工機メーカーでありながら、 総合レーザ発振器メーカーでもある最大の強みを活かし、 世界中のお客様のものづくりの現場を支えています。 さらに、高速電力制御、デジタルトランスフォーメーションを 推進するソフトウエアなど、お客様の生産効率向上・ビジネス成功に貢献するソリューションを提供しています。 ※社屋写真はドイツ本社の写真です。