サブミクロンのパーティクルを750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄
当社では、750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニットをはじめとする 「ファインシリーズ洗浄ユニット」を取り扱っております。 「ファインソニック(バッチ式洗浄ユニット)」は、特殊型振動素子により 効率よく音波を伝搬させワークにダメージを与えずにサブミクロンの パーティクルを除去。 その他、シリコンウェハー、フォトマスク等の洗浄に適した「ファインジェット (スプレー式洗浄ツール)」や、1.5MHzの音波をのせた超純水を噴射し洗浄する 「ファインスコール(シャワー式洗浄ツール)」をご用意しております。 【特長】 ＜ファインソニック＞ ■750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニット ■特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させワークにダメージを 与えずにサブミクロンのパーティクルを除去 ■シリコンウェハー、フォトマスク、磁気ディスクの洗浄に適している ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他の特長】 ＜ファインジェット＞ ■ノズル先端より400kHz1.5MHzまたは3.0MHzの音波をのせた純水を噴射し洗浄 ■毎分0.8〜1.5リットルの流量で洗浄 ■空中で洗浄するため再汚染がなく、サブミクロンのパーティクルが除去 ＜ファインスコール＞ ■2mm幅のノズルスリットより1.5MHzの音波をのせた超純水を噴射し洗浄 ■洗浄エリアは250〜2,210mmまでワークに合ったサイズを選択可能 ■バータイプのため高スループットでサブミクロンのパーティクルが洗浄できる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、 お客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売 などを行っている会社です。 顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、 据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポート。 すべての工程で顧客と密接な関係を構築することで直接、顧客の考える問題点や 技術トレンドを感じ取り、それに応じた開発にいち早く着手しています。
