酸化物・窒化物材料の脱ガス・脱水・脱炭を、極真空〜還元雰囲気で制御
当社で取り扱う「メタル炉」は、極真空雰囲気での高純度熱処理に対応した電気炉です。 炉内のホットゾーンをメタル材で構成することで、黒鉛材・断熱材・有機物由来のアウトガスやカーボンコンタミを抑制し、 酸素・炭素・水分の影響を低減したクリーンな熱処理環境を形成します。 メタル炉では、金属ヒーター・金属チャンバー構造により、極真空からAr/N₂/H₂などの雰囲気制御まで対応し、 高純度粉末やセラミック部材の脱ガス、脱水、脱炭、還元処理に適用できます。 【特長】 ■ 極真空雰囲気に対応 ・10^-3〜10^-5 Paの真空到達に対応 ■ メタルホットゾーン構成 ・金属ヒーター、金属チャンバー構造により、炉材の混入を抑制 ■ 高精度な温度・雰囲気制御 ・真空、Ar、N₂、H₂など、目的に応じた雰囲気制御に対応 ■ 小型から大型へのスケールアップに対応 ・小型機で条件確認後、大型炉への展開も検討可能 また、設備導入前の条件確認として、実サンプルを用いた焼成テストにも対応可能です。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【このような課題に】 ■ 超高純度酸化物粉末やセラミック部材において、ppmオーダーのC・H・O不純物が物性を左右する ■ 通常の電気炉では、炉材由来の炭素汚染や還元反応を避けにくい ■ 高温処理時に、試料内部から発生する吸着水、CO₂、残留有機物を効率的に除去したい ■ 高純度プロセスを再現性よく実施できるラボスケール装置が少ない 【メタル炉で対応できること】 ■ 極真空雰囲気での脱ガス・脱水・脱炭処理 ■ 酸素・炭素・水分由来の汚染影響の低減 ■ 黒鉛材・断熱材由来のアウトガス抑制 ■ 真空、Ar、N₂、H₂などの雰囲気切替 ■ 高純度粉末・セラミック材料の熱処理条件検討 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・応用例】 ■ 高純度酸化物粉末・セラミックの脱ガス、脱水、脱炭処理 ・SiO₂、Al₂O₃、ZrO₂、HfO₂、La₂O₃など ・吸着水、CO₂、残留有機物、炭素由来成分の低減 ■ 酸化物ターゲット材・セラミック部材の前処理 ・スパッタリングターゲット、焼結前粉末、成形体の高純度化処理 ・焼成前の脱ガス、脱水、残留炭素低減 ■ 窒化物粉末の精製・残留酸素低減 ・Si₃N₄、AlN、BNなど ・真空、Ar、N₂、H₂雰囲気による条件検討 ■ 高純度材料の設備導入前条件確認 ・実サンプルを用いて、温度、到達真空度、保持時間、雰囲気条件の確認が可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
