セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
当社で取り扱う「メタル炉」は、セラミックスや金属の封着・ろう付け・拡散接合に適した高純度雰囲気炉です。 微量O2/H2O/炭化水素は、濡れ性・界面反応・気密性に影響します。 メタル炉は高真空雰囲気とMo/W系金属ホットゾーンにより、炭素・有機由来の汚染を抑えた熱処理が可能です。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール、封止処理にも適用できます。 【特長】 ■ 高真空雰囲気で残留ガスの影響を低減 ■ 金属ホットゾーンによりクリーン雰囲気を維持 ■ ±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■ 金属治具や荷重機構との組合せが可能 ■ 試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【メタル炉が効く理由】 ■ 低O2/H2O/HC：濡れ性・界面強度・気密性を安定化 ■ 炭素フリー：黒鉛由来の汚染を抑え、活性金属ろうの挙動を安定化 ■ 高真空・還元雰囲気：接合前の脱ガス、酸化膜低減に対応 ■ 温度均一性：封着部の反応ムラ、熱応力差を抑制 ■ 短サイクル試作：真空・還元雰囲気の切替が速く、条件出しがしやすい ※さらに詳しい情報は、資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
価格情報
※装置仕様によって価格が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
納期
※※装置仕様によって納期が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
用途／実績例
【応用例】 ■ セラミックス-金属の封着、ろう付け、拡散接合 ■ 活性金属ろう材、金属治具を用いた接合条件の検討 ■ 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール、封止 ■ 真空・還元雰囲気での脱ガス、酸化膜低減、界面反応制御 ■ 気密性、濡れ性、界面強度、熱応力影響の評価 材料、接合材、処理温度、雰囲気条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
