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ナノレイヤー膜厚測定用高精度非接触ゲージ『NCG-R』

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NCG-R

最終更新日:2025年11月21日

マーポス株式会社
マーポス株式会社
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厚いウエハから極薄ウエハ(1μm未満)まで厚さ測定が可能

被測定物を損傷させることなく、高精度な非接触測定を実現します。 あらゆる種類の表面や材料(高反射面を含む)に対し、極めて高い解像度で厚さ測定が可能です。 専用の光学センサーを搭載したNCG-Rシステムは、高い保護性能(IP規格準拠の筐体など)を備えた設計により、製造工程後の検査から工程内検査まで、幅広い用途に対応可能です。 薄膜、コーティング、ナノ層などの厚さ測定は、NCG-Rシステムの最大の特徴であり、卓越した性能を発揮します。NCG-Rコントローラー(可視光タイプ)は、あらゆる種類のセンサーヘッドに対応しており、測定範囲や使用環境(作業距離やスポットサイズなど)に最適化された性能を実現しています。

    膜厚計
NCG-R_IPROS_280x280.jpg

ナノレイヤー膜厚測定用高精度非接触ゲージ『NCG-R』

NCG-R_IPROS_280x280.jpg
NCG-R_IPROS_280x280.jpg NCG-R_01_280x280.png NCG-R_02_280x280.png
  • NCG-R
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用途/実績例

半導体産業、医療機器、電子部品など、極めて高い精度で非接触測定が必要なあらゆる分野に 最適なソリューションです。ナノメートルスケールの超薄膜層の検出も可能です。 用途例) - 半導体製造業界:ウエハ上の薄膜 - バックグラインディングまたはCMPによる加工中の制御 - 3C業界:基板や柔軟な電子部品へのコーティング技術

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非接触式センサー反射測定型コントローラー『NCG-R』

非接触式センサー反射測定型コントローラー『NCG-R』

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この製品に関するニュース(1)

SEMICON JAPAN 2025 出展のご案内

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弊社は2025年12月17日(水)より東京ビッグサイトで開催される 「SEMICON Japan 2025」 に出展いたします。(ブース番号:E4727) 本展示会では、日々進化を遂げる半導体製造プロセスの信頼性、半導体性能の向上に寄与する半導体産業専用アプリケーション及び非接触式測定器をご紹介します。 是非ブースへお立ち寄りの上、ご覧頂きたくご案内申し上げます。 <主な展示製品> ・ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システム  ブレードの高速位置決め、加工中のブレードのチッピング検出と摩耗検出が可能 ・非接触式高精度薄膜測定装置(インターフェロメトリ技術)  1μm未満の極薄ウエハまで、インライン制御、最終検査、ラボ試験装置として利用可能 ・非接触式高精度表面形状測定装置(クロマティックコンフォーカル技術)  様々な素材や反射面など、あらゆるタイプの表面素材に対し高い分解能で測定 ・加工中ウェーハ厚さ制御向け接触/非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術)  ドライ/ウェット環境で、機械加工中のウェーハ厚さを精密に制御する接触型および非接触型ソリューション

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マーポス株式会社は、イタリアに本社を置くマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 「世界のものづくりのパートナー」を掲げ、50年以上日本の製造業を支えています。 当社は、製造工程における機械加工中・加工後の精密測定、検査、プロセス管理システムを提供しています。 ICE(内燃機関)およびEV(電気自動車)の分野では、大手自動車メーカーの主要サプライヤーとして採用されています。 また、自動車分野にとどまらず、半導体、航空宇宙、医療、エネルギー、家電など、幅広い業界で製品・サービスをご利用いただいています。 マーポスは、お客様の規模や業種を問わず、品質向上・合理化・柔軟な生産体制の構築・生産性向上に貢献してきました。 技術力と豊富なノウハウを活かし、課題解決に果敢に取り組み続けています。 さらに、企業理念に基づきトータル・クオリティの向上を追求し、ISO 9001:2015認証を取得。 日本国内でも設計・製造・組立を行い、高品質な製品とサービスを提供しています。 国内6拠点、海外2拠点のネットワークを活かし、地域に密着した迅速なサポート体制を構築しています。

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