半導体製造の品質向上に貢献します！
電子部品業界では、製品の高機能化に伴い、半導体材料の品質が重要になっています。特に、金属不純物やパーティクルの混入は、製品の性能劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社製品は、半導体材料製造における吸着剤およびフィルター技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける金属不純物除去 ・半導体材料のパーティクル低減 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・信頼性の高い製品の提供
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基本情報
【特長】 ・金属濃度をppbレベルで管理 ・粒径100nm程度までのパーティクル数を管理 ・最大処理量：15L（低メタル化）、18L（低パーティクル化）※スケールアップ検討中 ・金属低減方法：吸着剤、フィルター ・パーティクル低減方法：PGMEAの循環ろ過 【当社の強み】 福井キヤノンマテリアル株式会社は、化学技術を通して、お客様の日常を快適にすることを目指しています。ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析計）および液中パーティクルカウンターを自社で保有し、お客様のニーズに応える製品を革新的な技術や発想から創造し、永続的な発展を目指します。
価格帯
納期
用途／実績例
低メタル化実績：金属濃度2000ppbの液を50ppbまで低減 低パーティクル化実績：PGMEA (4L) の循環ろ過において、粒径70nm以上のパーティクルが、10時間で4687個/mLから0.3個/mLまで低減
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企業情報
福井キヤノンマテリアル株式会社は、化学技術を通して、お客様の日常を 快適にすることを目指し、優れた技術で人と人、人と化学のより良い関係を築いてまいります。 「共生」の理念のもとに、地球環境と企業活動の調和を図りながら、顧客・社員ならびに地域社会の期待に応えられるように努め、お客様のニーズに応える製品を革新的な技術や発想から創造し、永続的な発展を目指します。
