ALDプリカーサー、EUVフォトレジスト原料などの超高純度と収率の両立を実現。品質と価格両面での競争力向上を実現します
先端半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。 特に、ALD工程のプリカーサーや極紫外露光のフォトレジスト用途での要求においては、不純物の混入が最終製品の性能劣化の大きな要因となります。 不完全な錯体異物、ダイマー・ポリマー由来の異物の分離精製し、高品質なプリカーサーの安定供給を支えます。 フォトレジスト原料中のメタル因子異物を分離精製し、EUV領域での使用を前提としたフォトレジスト原料の安定供給を支えます。 当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度99.99％、歩留まり98％(2回目の精製後)を実現し、先端半導体材料の高純度化という課題を解決します。 【活用シーン】 ・ALDプリカーサー（金属錯体物質）の分離精製と超高純度化 ・EUVフォトレジスト原料の精製 ・有機EL材料の精製 ・有機半導体材料の精製 ・高純度化が求められるその他半導体材料の精製 【導入の効果】 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・卓越した再現性による、品質と生産計画の安定 ・高品質な材料供給と価格低減による競争力強化
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基本情報
【特長】 ・開発から量産まで幅広いニーズに対応 ・温度・圧力・重量検知によるオートプロセスコントロール制御 ・実験や開発に適した5gから量産用の10kg/runを精製 ・純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ・縦型のため省スペースで設置可能 【当社の強み】 当社は、半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置等の輸出入販売・保守を行っており、お客様のニーズに合わせた好適なソリューションを提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
【こんな方におススメ】 ◎超高純度と高収率の両立を実現したい ◎従前の昇華精製工程をスケールアップして量産化したい ◎有機材料の精製に要する工数を削減したい ◎海外の量産拠点を国内に移したい ◎生産をアウトソースしても純度収量を安定して確保したい ◎設置スペースが確保できず困っている ※「PDFダウンロード」より製品資料(英語)をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 関連製品動画もご覧いただけます。
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| DSU-05 | 最大容量5g 研究用高機能トレインサブリメーションシステム 専用キャリブレーションチューブによる高精度温度校正可能 |
| DSU-20 | 最大容量20g 研究用高機能トレインサブリメーションシステム 専用キャリブレーションチューブによる高精度温度校正可能 |
| DSU-50 | QUANTIpureテクノロジー搭載 卓上小型昇華精製装置 最大投入量50g ※大型装置へのデータ移行用のパイロット機としても好適 |
| DSU-300 | QUANTIpureテクノロジー搭載 パイロットスケール量産機 最大投入量300g |
| DSU-2000 | QUANTIpureテクノロジー搭載 量産機 最大投入量2kg |
| DSU-10K | QUANTIpureテクノロジー搭載 大型量産機 最大投入量10kg |
カタログ（2）
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企業情報
半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置のことなら当社へ 当社は、2016年3月に真空プロセスに関連する世界の先進技術を有する 海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を 提供する目的で設立致しました。 当社の取扱製品・装置は、スパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、 イオンビームエッチング・ミリング、イオンビームスパッタリング、 中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、 液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。
