エッチング・CVD工程に。熱伝導率と耐プラズマ性に優れたセラミック部品
研究開発分野では、実験の精度と再現性を高めるために、使用する材料の特性が重要になります。特に、半導体製造プロセスにおけるエッチング工程やCVD工程では、高温やプラズマ環境に耐えうる材料が求められます。熱伝導率が低いと熱がこもり、均一な反応を妨げる可能性があります。また、異物の発生は実験結果に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、実験の信頼性を向上させるために開発されました。 【活用シーン】 ・エッチング工程における基板固定 ・CVD工程における反応容器 ・高温環境下での実験 ・プラズマ環境下での実験 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性による部品の長寿命化 ・異物発生の抑制による実験精度の向上 ・高品質な実験結果の実現
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基本情報
【特長】 ・窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率 ・イットリアは、高い耐プラズマ性 ・窒化アルミは、エッチング工程、CVD工程向け ・イットリアは、焼結材と溶射材をラインナップ ・溶射材は、高い密着性によりパーティクル低減に貢献 【当社の強み】 CHIYODAは、ものづくりに貢献できる商品ラインナップがあります。専門商社として、お客様のニーズに合わせた製品提案を行います。
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企業情報
CHIYODAにはものづくりに欠かすことのできない装置部材から修理サービス、環境貢献商品まで、製造業のお客さまであれば、必ずなんらかの形で貢献できる商品ラインナップがあります。
