「シリコンウエファーコート剤への微小ひっかき試験」のpdf資料です。詳細はダウンロードして御覧ください。
ポリマーコーティングは、半導体、太陽エネルギー、光学、生物医学など多様な産業分野において、様々な基材の機械的特 性、耐摩擦特性、光学特性、化学的特性を向上させるために広く利用されています。コーティング固有の品質と、コーティ ング/基材システムの界面の相性が、ポリマーコーティングの耐用性能と寿命を決定します。引っかき試験および微小引っ かき試験は、コーティングの凝集強度および接着強度を評価する最も広く適用されている手法の一つとして発展してきまし た。加えられる荷重が漸増するにつれて特定の種類のコーティング破壊が発生する臨界荷重は、コーティングの接着特性お よび凝集特性を決定し比較する信頼性の高い手段として広く認識されています。引っかき試験で最も一般的に使用される圧 子は円錐状のロックウェルダイヤモンド圧子です。しかしながら、シリコンウェーハのような脆性基板上に堆積された軟質 ポリマーコーティングに対してスクラッチ試験を実施する場合、円錐状圧子は亀裂や剥離を生じさせるよりも、コーティン グをかき分けるように溝を形成する傾向があります。.....
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基本情報
◎必要なものを1台で全て可能にするシステム ナノビア社のナノ/マイクロインデンター(機械式テスター)は、「スクラッチ」「押し込み」「引っかき傷」「摩擦試験」を通じて、「薄膜」「コーティング」「セラミック」「複合材料」から「ポリマー」「生体材料」に至るまで、幅広い材料のマイクロからナノメカニカル特性を正確に測定します。 全モデルに独立した荷重センサーと深さセンサーによる真のフィードバック負荷制御が搭載されており、市場で入手可能な比類のない精度と最高の再現性を実現します。
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納期
用途/実績例
◎ナノビア社独自の卓越したテクノロジー ◎高度な自動追従ズーム表示
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弊社では、世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っております。日本の製品には見られない最先端の技術が採用され、製造や開発の現場で合理化の促進やコストダウンを可能にし、導入された企業様へ必ずメリットをもたらす製品です。また弊社では海外製品でも国産メーカークラスの迅速なサポートで対応させて頂いております。 ◎動的粘弾性測定装置 ◎応力緩和測定装置 ◎落錘式衝撃試験機 ◎多彩色光3光学プロファイラー ◎ナノ/マイクロインデンター ◎トライボメーター ◎ポリマー用水分計 ◎溶融物性材料開発機器ツインキャピラリーレオメーター ◎流動解析ソフト ◎成形解析ソフト ◎超精密フィーダー ◎質量式定量フィーダー ◎自動調整 重量式ブレンダー ◎ポリマー用除湿乾燥機 ◎カラースペクトロメーター ◎成形サイクル短縮機器 ◎ゴム測定関連機器 動的測定+加硫試験機 レオメーター カーボン分散計 ムーニー粘度計 硬さ・密度計 密度・比重計 未加硫ゴム用かさ比重計 硬度計 耐久・疲労試験機 リバウンドテスター 摩耗試験機 ◎バルブ総合メーカー





