最大90 µmストローク・高荷重対応、サブナノ精度のピエゾアクチュエータ
製造業の分野では、高荷重・高精度・高速応答が求められます。最大90 µmのストロークとサブナノメートル分解能により、微細位置決めや高精度制御が必要な工程で安定した動作を実現します。また、PICMAピエゾ素子を採用することで、長寿命かつ信頼性の高い性能を提供します。これにより、製品品質の向上やプロセスの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程での精密位置決め ・光ファイバやレーザー光学系の高精度アライメント ・MEMS・微細デバイス製造での微小動作制御 ・高精度組み立て・検査装置の駆動部 【導入の効果】 ・サブナノメートル精度による高精度位置決め ・高荷重対応（最大押力3000 N / 引張力700 N）による頑健な動作 ・マイクロ秒応答による高速制御 ・長寿命で信頼性の高い駆動特性
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基本情報
【特長】 ・PICMA(TM)ピエゾセラミック層による驚異の長寿命 ・ストローク～90μm ・プッシュフォース～3000N ・プルフォース～700N ・サブミリセカンドの応答 ・サブナノメートルの分解能 ・オプション：真空対応バージョン、防水ケース 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適なソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、多様な位置決め製品と、グラナイト定盤などの周辺機器を組み合わせた複合システムのご提案も可能です。お客様の課題解決に貢献するため、専門知識と豊富な経験を活かしてサポートいたします。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・スタティックとダイナミックの精密位置決め ・ディスクドライブ試験 ・光学 ・各種計測／干渉計 ・スマート構造／アダプトロニクス ・精密機構／機械加工 ・アクティブ振動制御 ・スイッチ ・レーザーチューニング
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
