特定の官能基を化学修飾し、導入したマーカー元素から表面官能基（アミノ基、シラノール基）の割合を評価した事例を紹介します。
直接材料表面の官能基を定量することは困難ですが、XPS分析に適したヘテロ元素を含む試薬で特定の官能基を化学修飾し、導入したヘテロ元素から表面官能基（アミノ基、シラノール基）の割合を評価した事例を紹介します。 【分析試料】4,4'-ジアミノジフェニルエーテル（DADPE）、OH終端したSiウエハ 【分析方法】XPS；単色化AlKα線（アルバック・ファイ製 PHI5000 VersaProbe II） 【分析結果】 1. アミノ基の評価：4,4'-ジアミノジフェニルエーテル（DADPE）中のアミノ基を、無水トリフルオロ酢酸（TFAA）で 修飾した事例を紹介します。 2. シラノール基の評価：OH終端したSiウエハ表面のシラノール基を、1H,1H,2H,2H-パーフルオロオクチルジメチル クロロシラン（FOCS）で修飾した事例を紹介します。 化学修飾した試料のXPS分析によって表面官能基の割合を求めることが可能です。また、材料特性が異なる試料表面を分析して表面官能基の割合を比較することで、表面官能基が材料特性に与える影響を評価することも可能です。
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株式会社カネカテクノリサーチは1988年に設立され、企業理念のもと 「分析サービス」と「技術情報サービス」の分野でお客様に信頼される パートナーになることを目標として事業を展開してまいりました。 当社は先見的で高度な分析技術、調査技術を有するプロフェッショナルの 集団として、お客様が抱える課題の解決策を提案し、それを実現する 質の高い技術サービスを迅速に提供することにより、お客様から信頼される 課題解決型技術サービス企業となることを目指して日々研鑽に努めて参ります。 皆様から一層のご指導、ご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。
