精密スプレー制御により現像ムラを解消。L/S=15μmの微細回路も安定。ドライフィルムの膨潤を抑え、シャープなパターンを形成。
• 世界基準のウェットプロセス『Höllmüller』の技術を継承し、TSKが再定義した「次世代水平搬送システム」 • 均一な液置換を実現するノズル配置 基板全域に均一な圧力をかける独自の噴射設計により、面内の現像レート差を極小化。 • 微細パターンの解像度向上 現像液の浸透と洗浄のバランスを最適化し、ドライフィルムの裾引きや膨潤（スウェリング）を防止。 • 高スループットと安定性の両立 水平搬送による連続処理で、タクトタイムを短縮しつつ高いCpK値を維持。
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基本情報
- 高流量を実現した最適な流体制御 - 搬送ギャップに合わせてノズルを配置 - 作業方向に対して垂直に振動 - オプション：クローズドループ式プロセス制御 - 安全スイッチ付きクイックリリースメッシュフィルターをインライン搭載 - コンパクトなカスケード式リンス - 均一性 5 ～ 10% - スリムな噴射角のファンノズル - ノズルを交互に配置したスプレー構成 - ソルダーレジスト用強化ポンプ - 均一なライン現像 - 均一性を高めるポスト現像機を内蔵 - 15/15 µm の微細パターン現像に対応
価格帯
納期
用途／実績例
- > 世界中で 600 台以上の現像装置を導入済み
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企業情報
当社は、PCB(プリント回路版)製造機器メーカーである 「Photonics Systems Group GmbH」「TSK Schill GmbH」の日本正規代理店です。 今お使いの他社製ラインへのモジュール追加や、部分的な改善のご相談も承ります。 主要スペアパーツ(ノズルマニホールド・ポンプ・フィルター等)を 国内常備→最短即日発送など、日本国内だから実現できる、 圧倒的なサポートスピード。 「もっと均一性を上げたい」「極薄材で液ムラがどうしても出る」 「メンテに時間がかかりすぎている」「もっと早く細くビアを開けたい」 そんなお悩みを、PSG x TSK Schill×ワールドリンクが一気に解決します。
