サイクルタイムを短縮!半導体製造における膜厚測定に
半導体業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、ウェーハや薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかなずれが製品の性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。光干渉測定器『NCG』は、光干渉技術により、ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の厚みを管理するように設計されています。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における膜厚測定 ・薄膜形成プロセスの品質管理 ・半導体デバイスの製造における品質保証 【導入の効果】 ・目的の公差内の加工精度を保証 ・サイクルタイムを短縮 ・コントロールされた安定した生産を維持
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基本情報
【特長】 ・目的の公差内の加工精度を保証 ・サイクルタイムを短縮 ・コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ・機械的な変動に対する補正 ・測定結果の履歴 【当社の強み】 マーポス株式会社は、50年以上にわたり日本の製造業を支え、半導体業界を含む幅広い分野で精密測定、検査、プロセス管理システムを提供しています。国内6拠点、海外2拠点のネットワークを活かし、地域に密着した迅速なサポート体制を構築しています。
価格帯
納期
用途/実績例
【代表的なアプリケーション】 ■異なるシリコンタイプ、サファイアウェハーの厚さ測定 ■バックグランドとラップ機上の加工プロセス ■薄膜層と厚膜層の検出 ■テープの厚み管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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マーポス株式会社は、イタリアに本社を置くマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 「世界のものづくりのパートナー」を掲げ、50年以上日本の製造業を支えています。 当社は、製造工程における機械加工中・加工後の精密測定、検査、プロセス管理システムを提供しています。 ICE(内燃機関)およびEV(電気自動車)の分野では、大手自動車メーカーの主要サプライヤーとして採用されています。 また、自動車分野にとどまらず、半導体、航空宇宙、医療、エネルギー、家電など、幅広い業界で製品・サービスをご利用いただいています。 マーポスは、お客様の規模や業種を問わず、品質向上・合理化・柔軟な生産体制の構築・生産性向上に貢献してきました。 技術力と豊富なノウハウを活かし、課題解決に果敢に取り組み続けています。 さらに、企業理念に基づきトータル・クオリティの向上を追求し、ISO 9001:2015認証を取得。 日本国内でも設計・製造・組立を行い、高品質な製品とサービスを提供しています。 国内6拠点、海外2拠点のネットワークを活かし、地域に密着した迅速なサポート体制を構築しています。






