超真空で発塵無し
真空環境で使用出来るAIREXメカニカルシャフト(ネジ式)です。 太陽光パネル・半導体製造装置などの巻取・繰出軸として最適です。 10-6Pa 超高真空領域まで使用可能です。 厳選した材料を使用しています。 使用部品はガス放出量の少ない材料を使用しています。 金属…SUS303,SUS304,SUS440C,A2017 樹脂…ベスペルSP-1,ケトロンPEEK,バイトン フッ素ゴム 潤滑油…真空グリス(バリエルタSUPER IS/V,NOK) 発塵を抑える構造です。 コア着脱時の接触発塵を抑えるため、ボディ外径部にコロユニットを埋設しています。 ラグの拡縮時にシャフト内部からの発塵を抑えると同時に、部品の焼き付き防止のため、 摺動部品は金属と樹脂の組合せになるようにしています。 部品の残留異物を除去しています。 組立前には全ての部品を脱脂洗浄し、超音波洗浄した後、乾燥機にて水分を除去します。 組立はクリーンブースにて行い、油分・ゴミ等が付着しないよう細心の注意を払っています。
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