高圧、低流量、様々な特性のガスを正確に測定！
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおけるガスの正確な流量制御が不可欠です。特に、成膜、エッチング、CVDなどの工程では、ガスの流量が製品の品質や歩留まりに直接影響します。不適切なガス制御は、ウェーハの不良や装置の停止につながる可能性があります。ALICAT コリオリ式マスフローメーター／コントローラーは、高圧、低流量、様々な特性のガスを正確に測定し、半導体製造プロセスにおけるガス制御の課題を解決します。 【活用シーン】 ・成膜工程におけるガス流量制御 ・エッチング工程におけるガス流量制御 ・CVD工程におけるガス流量制御 ・スパッタリング工程におけるガス流量制御 【導入の効果】 ・高品質な半導体製品の安定供給 ・歩留まりの向上 ・製造コストの削減 ・プロセスの最適化
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基本情報
【特長】 ・高圧、低流量、様々な特性のガスに対応 ・超低流量機能による成分の測定と制御に最適 ・腐食性ガスに対応 ・98種類の多種多様なガスに対応 ・相対湿度センサーオプション追加で湿度補正が可能 【当社の強み】 ALICAT（アリキャット）社の正規代理店として、マスフローメーター、マスフローコントローラー等を販売。使用条件・目的に応じた確実な技術サポートを提供。
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企業情報
■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター／コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター／コントローラー MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様マスフローメーター／コントローラー IS-Maxシリーズ ■液体用フローメーター ／コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE／MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■熱式流量計 小型マスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ
