0.01ml/min単位で薬液を精密供給。半導体製造の品質向上に貢献。
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工プロセスにおいては、薬液の流量や供給量のわずかな変動が、製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。薬液供給の不安定さは、歩留まりの低下や不良品の発生につながり、生産効率を著しく低下させる要因となります。無脈動・定量ポンプ『0.01ml/min単位で微小量送液Q』は、0.01mL単位での微量送液を可能にし、長時間の安定送液を実現します。これにより、半導体製造プロセスにおける薬液供給の課題を解決し、高品質な製品の安定生産に貢献します。 【活用シーン】 ・フォトリソグラフィー工程におけるレジスト液供給 ・エッチング工程における薬液供給 ・CMP工程におけるスラリー供給 ・洗浄工程における薬液供給 【導入の効果】 ・薬液供給量の安定化による歩留まり向上 ・不良品発生率の低減 ・製造プロセスの効率化 ・高品質な半導体製品の安定供給
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基本情報
【特長】 ・すぐれた定量性・応答性 ・長期間変わらない送液精度 ・脈動のない連続一定流 ・液を漏らさず、変質させない ・配管閉塞・空運転でも壊れない 【当社の強み】 株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニーとして、お客様の課題解決に貢献します。67年を超える歴史の中で培われたポンプ技術と、多様な流体に対応できる製品ラインナップで、半導体製造における薬液供給の課題を解決します。貸出機や実液テストも承り、お客様に最適なソリューションを提供します。
価格情報
概算見積もお気軽にお問合せください。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途／実績例
連続反応試験など、⾼い精度と安定性が求められる⽤途に好適です。 用途・実績多数あり。詳しくはホームページをご覧ください。
カタログ（17）
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企業情報
株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。
