半導体製造における薬液塗布を、高圧・無脈動送液で実現！
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、薬液の正確な塗布が求められます。特に、微細化が進む中で、薬液の均一な供給と精密な塗布が、歩留まりを左右する重要な要素となります。脈動のある送液は、塗布のムラや液質の変化を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。高圧スムーズフローポンプHPLは、最高50MPaの高圧送液を可能にし、無脈動送液を実現することで、半導体製造における薬液塗布の課題を解決します。 【活用シーン】 ・フォトレジスト塗布 ・現像液塗布 ・CMPスラリー供給 【導入の効果】 ・塗布の均一性向上 ・歩留まり向上 ・液質の安定化 ・TCO削減
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
【特長】 ・液が漏れない ・異物混入がない ・スラリーに強い ・空運転で壊れない ・無脈動送液 【当社の強み】 株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニーとして、お客様の課題解決に貢献します。67年を超える歴史の中で培われたポンプ技術と、多様な流体ソリューションの提供を通じて、半導体製造におけるお客様のニーズにお応えします。研究開発から製造プロセスまで、最適なシステムをご提案します。貸出機や実液テストのご相談も承ります。
価格情報
概算見積もお気軽にお問合せください。
納期
用途／実績例
・ジェットミル ・高圧ホモジナイザー ・水素製造 ・フロー合成 ・スプレードライ ・分離・精製
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。
