高精度な薬液供給で、半導体製造の品質向上に貢献!
半導体業界では、高品質な製品を安定的に製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細化が進む中で、薬液の純度を保ち、脈動による流量変動を抑えることが重要になります。不適切な薬液供給は、製品の歩留まり低下や品質劣化につながる可能性があります。スムーズフローポンプ XPLは、脈動のない連続一定流を実現し、高精度な薬液供給を可能にします。 【活用シーン】 ・薬液供給 【導入の効果】 ・製品品質の安定 ・歩留まり向上 ・TCO削減
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
【特長】 ・脈動がない ・スラリーに強い ・コンタミレス ・液質変化しない ・TCOを削減 【当社の強み】 株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニーです。創業から67年を超える歴史の中で培われた技術力と、お客様の課題に寄り添う姿勢で、最適な流体ソリューションを提供します。研究開発から製造プロセスまで、お客様のニーズに合わせたサポート体制を整えています。貸出機や実液テストも可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
概算見積もお気軽にお問合せください。
納期
用途/実績例
ラボの微量薬注からプロセスでの一般薬注まで幅広い薬注用途に対応 詳しくはカタログまたはお気軽にお問い合わせください。
カタログ(5)
カタログをまとめてダウンロード企業情報
株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。










