検査装置評価用のパーティクルを正確に塗布します。
MSP Corporationは、半導体およびデバイス分野向けに高精度なパーティクル塗布技術を提供する企業です。特許取得済みのDMA分級技術を中核とし、粒子径および塗布個数を高い再現性で制御できるパーティクル塗布装置および塗布サービスを展開しています。 パーティクル塗布サービスにつきましては、評価・検証用ウェハーやフォトマスクへの塗布、洗浄装置評価向けのPRE塗布、表面検査装置校正用のSPx塗布ウェハーなど、用途に応じたサービスメニューが用意されています。これらの塗布は、NISTトレーサブルな標準粒子を用いて行われ、スキャン結果や塗布レポートなどの付属資料も提供可能です。
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基本情報
■粒子種類 - PSL（Polystyrene Latex） - SiO₂（Silica） - プロセスパーティクル （AlF₃, Al₂O₃, Ni, Ru, Si, Si₃N₄, Sn, Ti, Ta, TiN, TiO₂, W, Y₂O₃） ■粒子サイズ - PSL：10 ～ 20,000nm - SiO₂：10 ～ 16,000nm - プロセスパーティクル：要相談 ■塗布パターン - スポット、全面、リング、エッジ・アーク ■塗布個数 - スポット／リング／エッジ・アーク：400 ～ 25,000個／スポット - 全面：400 ～ 50,000個 ■スポット径 - 標準：φ15 ～ 35mm（粒子サイズ依存） ■精度 - 塗布個数：±30％ - スポット径：±20％ ■付属品 - 使用粒子の証明書 - 塗布レポート - KLA Tencor社製 SP2 でのスキャン結果
価格情報
レシピ情報、スポット個数と塗布座標、基板枚数をご連絡いただいたうえでお見積もりいたします。
納期
※受注後または塗布基板がMSP社に到着後、約3~4ヵ月
用途／実績例
■PRE塗布サービス（洗浄装置評価向け） - 最低発注枚数：25枚 - 粒子：PSL または SiO₂ - 粒子径：40 ～ 1500nm - 塗布パターン：全面 または シングルスポット - 塗布個数：400 ～ 20,000個 - 基板：FOUP入り 300mm ウェハー（お客様支給） - 納期：約3か月 ■SPx塗布サービス（KLA Surfscan SP1/SP2 校正用） - 基板：MSP社支給 200mm または 300mm Siウェハー - 粒子：PSL - 塗布パターン：多スポット または 全面 - 粒子径：40 ～ 3040nm（型番ごとに規定） - 付属品：塗布レポート、PSL校正証明書、トレーサビリティ - 納期：約3週間
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企業情報
ＧＳＩクレオスは、インナー関連を中心とした繊維分野とケミカル関連を中心とした工業製品分野において、ビジネスパートナーの皆様とともに、新たな価値創造の仕組みを構築するユニークな「事業創造型商社」です。 繊維分野は、インナー・レッグウェアおよびアウターウェアなどの領域において、差別化素材の開発力と調達力、生産・物流のコーディネート力や顧客情報の分析力などを統合して、市場ニーズに適した原材料や製品を提供するとともに、工業製品分野では、国内外のネットワークを駆使しながら、化学品、機械・材料、ホビー・ライフの領域において、付加価値や独自性の高い商品を提供しております。 戦略事業としては、素材革命が期待されるナノテクノロジー分野において、画期的な付加価値をもたらす製品の開発および事業化に注力しています。 私たちは、「Produce the Future（次代を創る）」をスローガンとし、環境問題にも目を向け、より豊かな社会の実現に貢献します。
