従来QCMでは見えなかった、ng/cm2以下を可視化する
AWSensors X1 / X4 シリーズは、固体表面で起こる吸着・脱離・反応をリアルタイムで定量する音響波センサ計測プラットフォームです。従来の 5–10 MHz QCM では信号に埋もれていた微量吸着、薄い水和層、サブ単分子膜の構造変化を、HFF-QCM (50–150 MHz) の高い質量分解能 (気相 8 pg/cm²、液中 0.6 ng/cm² クラス) で分解します。 最大の特長は、HFF-QCM、Classical QCM、Love-SAW (120 MHz) の 3 種センサを本体交換なしに同一プラットフォームで切り替え運用できる点です。ALD 初期成長のサイクル単位追跡、二次電池 SEI 形成の in-situ 観察、液中バイオ分子のラベルフリー定量まで 1 台で対応します。 最大 7 オーバートーンの Δf / ΔD を 250 サンプル/秒で同時取得し、Sauerbrey 換算と Voigt フィッティングを自動適用。少量サンプル、Ar グローブボックス、in-situ 電気化学に対応するモジュラ構成で、研究テーマの拡張に追従します。
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基本情報
チャンネル数（同時測定数）14 対応センサー種別QCM / HFF-QCM / Love-SAWQCM / HFF-QCM / Love-SAW 測定モード"トラッキングモード／高分解能モード （単一倍音・多重倍音）""トラッキングモード／高分解能モード （単一倍音・多重倍音）" オーバートーン数最大7（基本波＋6倍音）最大7（基本波＋6倍音） 動作周波数範囲4 MHz 〜 160 MHz4 MHz 〜 160 MHz 周波数分解能0.1 Hz0.1 Hz 周波数確度±0.5 Hz±0.5 Hz 質量感度（気相）8 pg/cm²8 pg/cm² 質量感度（液相）0.6 ng/cm²0.6 ng/cm² 散逸感度（気相）1.71×10⁻¹⁰1.71×10⁻¹⁰ 散逸感度（液相）3.5×10⁻⁸3.5×10⁻⁸ 最大サンプリングレート250 samples/sec250 samples/sec 温度制御範囲（TCU使用時）15 °C 〜 45 °C15 °C 〜 45 °C 温度安定度±0.05 °C"±0.05 °C
価格帯
納期
用途／実績例
■ 半導体・薄膜プロセス（ALD/CVD） ・ALDプリカーサーの前駆体吸着量の定量 ・核形成開始タイミング（インキュベーションタイム）の検出 ・サイクル毎の成長量（GPC）の高分解能モニタリング ・自己制限的吸着の確認（飽和挙動の評価） ■ 二次電池・電気化学 ・SEI（固体電解質界面）形成過程の質量変化と粘弾性変化の同時追跡 ・正極・負極材料での電解液分解生成物の堆積量定量 ・電析・溶解過程のCV連動その場計測（eQCM-D） ・ポリマー電解質の膨潤・収縮の定量 ■ 接着・コーティング・表面処理 ・接着界面における樹脂の硬化過程（粘弾性変化）追跡 ・シランカップリング剤等の表面修飾層の膜厚・密度評価 ・防食・防汚コーティングの長期安定性評価 ・潤滑膜・PFAS代替膜の界面挙動 従来SPR・QCMより1〜2桁感度向上、ELISA同等のLODを達成）
企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。
