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【半導体業界向け】低熱膨張材料はどこに使う?熱変形を防ぐ選定術

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最終更新日:2026年07月28日

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
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微細化の壁「熱ズレ」を克服。熱変位を抑えるべき重要部位。

露光や検査工程で、温度変化による「熱ズレ」に悩んでいませんか? 装置の微細化が進む中、従来材(一般鋳鉄・鋼)の熱膨張は歩留まりを悪化させる致命的な要因となります。 ■低熱膨張鋳鉄『ヒノGDインバー』 ・低熱膨張:熱変形量が鋼の約1/(線膨張係数1.0~5.0ppm/℃)。高精度な寸法安定性が求められる精密部材に最適です。 ・ニアネットシェイプ:加工範囲・材料ロスを抑え、コストを低減します。 ・快削材:独自の材料特性で加工費低減と精密加工へ対応します。 ■適用すべき重要部位 ドライ真空ポンプ:熱によるローターとケーシングの接触防止。 半導体検査装置:テスターヘッド、インターフェースリング、ウェハステージなどの精度部材。 複雑な精密形状を鋳物化(ニアネットシェイプ)することで総切削に比べ材料ロスを最小化し、約30%コストダウンした事例もございます。 熱問題は「材料選定」から解決しませんか。ヒノデグループが最適な構造をご提案します。 【詳細は、下記よりカタログをダウンロードしてご確認ください】

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【半導体業界向け】低熱膨張材料はどこに使う?熱変形を防ぐ選定術

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基本情報

ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方  ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。  ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方  ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。  ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方  ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。  ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で   350社以上のお客様との実績あり。  ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。  ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。

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半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング)

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【材料開発】低熱膨張鋳鉄

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ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング) ■ 対象工程・部品 工程: 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質: 鋳鉄(FC/FCD)、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他

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