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【半導体業界向け】装置架台に最適な材質選定

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最終更新日:2026年07月28日

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
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剛性、減衰性、コストで決める。構造体の最適な材料選定を鋳物のプロが解説。

高精度化が加速する半導体製造装置では、装置自身から発せられる振動や床からの振動をいかに対策するかが歩留まりを左右します。振動が収まらない課題に対し、材料特性を有効活用しませんか? ■用途別のおすすめ材料 ベース・架台:鋼材の100倍近い減衰性を持つ「ミネラルキャスティング」 コラム・スタンド:省スペースで剛性と減衰性を両立する「ミネラルキャスティング×鋳鉄ハイブリッド構造」 高速可動部:鋳鉄同等の剛性でありながら軽量な高剛性アルミ合金「ATHIUM(アシウム)/ALSTIF(アルスティフ)」 ヘッド:片状黒鉛鋳鉄(FC250)の2.5倍の減衰性を持つ「高減鋳鉄」 ヒノデグループは新材料やトポロジー最適化を駆使し、高機能・低コストな装置部品をご提案。 装置パフォーマンスを最大化する鋳物ソリューションを開発から量産までワンストップで対応いたします。

    その他機械要素
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【半導体業界向け】装置架台に最適な材質選定

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基本情報

ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方  ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。  ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方  ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。  ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方  ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。  ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で   350社以上のお客様との実績あり。  ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。  ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。

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用途/実績例

半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング)

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【材料開発】低熱膨張鋳鉄

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【構造設計】形状最適化による性能向上

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ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング) ■ 対象工程・部品 工程: 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質: 鋳鉄(FC/FCD)、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他

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