半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラインナップ
当社は、クリーンテクノロジーを中心とした 洗浄技術・清浄技術・計測技術を核とする製品を提供しております。 半導体、FPD、乾燥炉、真空、精密洗浄、その他装置まで 各種製造装置を取り扱っています。 5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置、CF用処理装置、真空乾燥装置 R to R熱処理連続乾燥炉、精密部品洗浄装置、エアーシャワー等 幅広くラインナップしています。 また、空中搬送洗浄装置や非接触搬送洗浄装置も新たに加わりました。 【各種製造装置】 ■半導体 ■FPD ■乾燥炉 ■真空 ■精密洗浄 ■その他装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
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企業情報
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。
