Equipment Front End Moduleフルパネルサイズ対応自動搬送機
Equipment Front End Moduleフルパネルサイズ対応自動搬送機「EFEM Series」のご紹介です。 「EFEM Series」はフルパネルサイズ（510×515mm/600×600ｍｍ)に対応した自動搬送機です。 当社グループ会社であるニデックインスツルメンツ製のロボットを採用し、 お客様のニーズに応じた様々なカスタマイズが可能です！ 是非お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
・フルパネルサイズ対応 510×515mm/600×600ｍｍ ・ロードポート数・配置 ・パネル回転機構 などさまざまなカスタマイズが可能です！
価格帯
納期
用途／実績例
ウエハ・パネルの搬送
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企業情報
当社の検査対象分野は、プリント基板や半導体パッケージ、ディスプレイパネルなど。IT化の進展でますます成長する情報通信機器や普及著しいデジタル家電のコア部品です。プリント基板・半導体パッケージ・ディスプレイパネルは、目を見張るようなスピードで進化し、検査においてもより高精度な技術が求められます。当社は最先端の技術が要求されるこれらの検査分野において高いシェアを占め、「デファクト・スタンダード（業界標準）」と認知されるような製品を数多く世界中に送り出しています。
