SAICASを用いることで、プローブ径が大きく通常は断面測定が困難なXPS分析においても、異種材料界面の分析が可能となります。
スマートフォンなどの電子機器に使用されるフレキシブルプリント基板(FPC)は、樹脂と金属を積層した構造を有しています。FPCが十分な性能を維持するためには各層の密着性が重要ですが、ポリイミド(PI)樹脂と銅(Cu)界面では、使用に伴ってCu酸化物が生成し、剥離の原因となることが知られています。本事例では、劣化した市販製品中のFPCを対象に、斜め切削装置(SAICAS)で断面を作製し、X線光電子分光(XPS)法により界面の化学結合状態を分析しました。
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